Lead
Ce projet decrit l'utilisation qui sera faite de la nouvelle sonde de mesure pour un spectrom├Ętre RMN (de resonance magnetique nucleaire) dite "de diffusion" specifique pour l'etude des proprietes de diffusion et de transport de polymeres, liquides ioniques et aggregats de proteines.En particulier, l'accent sera mis sur l'etude des proprietes de transport d'adduits polymeriques utilises dans la fabrication industrielle d'interconnections de cuivre (puces electroniques et transistors.)

Lay summary

Contenu et objectifs du travail de recherche

Avec l'acquisition de cette sonde RMN specifique, notre but est de contribuer à une meilleure compréhension des propriétés de diffusion d'adduits polymeriques utilises dans la fabrication industrielle d'interconnections de cuivre (chips). Un des processus cle de la deposition de cuivre est la processus dit d'electrodeposition (procédé damascene). Ce procédé, assez complexes, nécessite l'utilisation d'adduits, les suppresseurs et  les précurseurs.

Brièvement, le cuivre diffuse facilement dans les dielectriques et le silicium, a la base de toute puce electronique. Sans barrières de diffusion, cependant, la zone active de la plaque de silicium sera contaminée par le cuivre et par conséquent la puce obtenue sera moins performante ou au pire ne fonctionnera pas. Le cuivre deposé en excès doit donc être "poli" par voie mécano-chimique (suppresseurs) pour aplanir l'ensemble et pour pouvoir procéder à la fabrication de la couche suivante.

Un des points cruciaux pour un design sur mesure d'adduits polymeriques pour les technologies futures est d'obtenir un contrôle des propriétés intrinsèques de transport des ces adduits monomériques et polymériques actifs dans le procédé damascène. Nous avons recemment proposé des adduits alternatifs a ceux utilises dans les procédés industriels, tels les polymères polyalklyl glycols (PAGs), polyethyleneimines (PEIs), polyvinylpyrrolidones (PVPs), efficaces, mais particulièrement difficiles a caracteriser.

En plus des propriétés intrinsèques, nous envisageons de caractériser la diffusion d'entités monomériques (dépolarisants) à travers des matrices visqueuses de suppresseurs polymeriques (polariseur). Ce procede d'inter-diffusion peut être considére comme LE point principal pour la deactivation de film suppresseur sur l'interface electrifiée dans les conditions utilisees dans l'industrie de fabrication des puces electroniques.