Projekt

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Light stamps for high resolution optical lithography: a theoretical and experimental study

Gesuchsteller/in Martin Olivier
Nummer 55549
Förderungsinstrument Projektförderung (Abt. I-III)
Forschungseinrichtung Institut für Feldtheorie und Höchstfrequenztechnik ETH Zürich
Hochschule ETH Zürich - ETHZ
Hauptdisziplin Elektroingenieurwesen
Beginn/Ende 01.04.1999 - 31.03.2002
Bewilligter Betrag 113'642.00
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Keywords (6)

OPTICAL LITHOGRAPHY; NANOTECHNOLOGY; NEAR-FIELD OPTICS; ELECTROMAGNETIC SCATTERIN; LIGHT PROPAGATION; NUMERICAL SIMULATIONS

Verantw. Gesuchsteller/in und weitere Gesuchstellende

Mitarbeitende

Name Institut

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