Projekt

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Influence of laser pre-pulsing on droplet-based laser-produced plasmas

Gesuchsteller/in Abhari Reza
Nummer 156754
Förderungsinstrument Projektförderung (Abt. I-III)
Forschungseinrichtung Institut für Energietechnik ETH Zürich
Hochschule ETH Zürich - ETHZ
Hauptdisziplin Plasmaphysik
Beginn/Ende 01.10.2014 - 30.09.2017
Bewilligter Betrag 191'550.00
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Alle Disziplinen (2)

Disziplin
Plasmaphysik
Maschineningenieurwesen

Keywords (5)

Tin droplets; stimulated brillouin scattering; EUV lithography; Laser-produced plasma; Laser pre-pulse

Lay Summary (Deutsch)

Lead
Laserproduzierte Plasmen werden verwendet um Strahlung in verschiedensten Wellenlängenbereichen zu erzeugen. Diese Strahlung entsteht, wenn ein kurzer Laserpuls (ns) mit hoher Intensität auf Materie fokussiert wird. Das vorliegende Projekt befasst sich mit extremen Ultravioletten Quellen, welche in der EUV Halbleiterlithographie benützt werden sollen. Am Laboratory for Energy Conversion (LEC) der ETH Zurich wird eine voll funktionsfähige laserproduzierte Plasma EUV-Quelle entwickelt. Die Kernidee des Projektes besteht darin einen zweiten, schwachen Laserpuls (Pre-pulse) vor dem Hauptpuls auf die Materie zu fokussieren. Ziel ist eine Effizienzsteigerung bei der Strahlungsemission und ein kontrolliertes Aufspalten des Tropfens um einschränkende Ablagerungen in der Lichtquelle zu vermeiden. Um besonders kurze Pulse im Bereich von Pikosekunden zu erforschen, werden die verfügbaren Pulse über die stimulierte Brillouin-Streuung verkürzt.
Lay summary

Laserproduzierte Plasmen werden verwendet um Strahlung in verschiedensten Wellenlängenbereichen zu erzeugen. Diese Strahlung entsteht, wenn ein kurzer Laserpuls (ns) mit hoher Intensität auf Materie fokussiert wird. Das vorliegende Projekt befasst sich mit tropfenbasierten laserproduzierten Plasmas, welche im Wellenlängenbereich des extremen Ultravioletten (EUV) emittieren. Solche EUV-Quellen produzieren Licht mit einer Wellenlänge von 13.5 nm und werden in der EUV Halbleiterlithographie benützt. Diese Technologie zur Herstellung von Computerchips wird voraussichtlich in der nächsten Lithographie-Generation zum Einsatz kommen. Am Laboratory for Energy Conversion (LEC) der ETH Zurich wird eine voll funktionsfähige laserproduzierte Plasma EUV-Quelle entwickelt und erforscht. Die Forschungsgruppe am LEC hat die Lichtquelle weitreichend bezüglich der Dynamik des Plasmas untersucht. Aus dieser Arbeit, ergibt sich die Idee, einen zweiten, schwachen Laserpuls (Pre-pulse) vor dem Hauptpuls auf die Materie zu fokussieren. Ziel ist eine Effizienzsteigerung bei der Strahlungsemission. Zusätzlich kann das Aufspalten des Tropfens unter dem Hauptpuls besser kontrolliert werden. Dieses Aufspalten des Tropfens führt zu Ablagerungen in der Lichtquelle, welche auch die Optiken zur Fokussierung des Lichtes bedecken. Der Einfluss der zeitlichen Dauer des ersten Laserpulses auf die Strahlung und das Aufspalten des Tropfens soll erforscht werden. Um besonders kurze Pulse im Bereich von Pikosekunden zu erforschen, werden die verfügbaren Pulse über die stimulierte Brillouin-Streuung verkürzt. Die Forschungsergebnisse sollen massgeblich zur Optimierung von laserproduzierten Lichtquellen beitragen, wie sie etwa in der Halbleiterlithographie eingesetzt werden sollen.

Direktlink auf Lay Summary Letzte Aktualisierung: 10.10.2014

Verantw. Gesuchsteller/in und weitere Gesuchstellende

Mitarbeitende

Publikationen

Publikation
Laser induced shockwave droplet breakup dynamics
Hudgins Duane, Nieland Alex, Abhari Reza S. (2017), Laser induced shockwave droplet breakup dynamics, in 2017 Source Workshop, Dublin, IrelandEUV Litho, Inc., Austin, TX USA.
Neutral cluster debris dynamics in droplet-based laser-produced plasma sources
Hudgins Duane, Gambino Nadia, Rollinger Bob, Abhari Reza (2016), Neutral cluster debris dynamics in droplet-based laser-produced plasma sources, in Journal of Physics D: Applied Physics, 49(18), 185205-185205.

Verbundene Projekte

Nummer Titel Start Förderungsinstrument
175927 Generation of Repeatable Microdroplets via Rayleigh Instability of a Non-Ideal Jet 01.10.2017 Projektförderung (Abt. I-III)
164026 Fundamentals of Droplet Break-up Dynamics in a Laser Produced Plasma Light Source with Shaped Pre-Pulse Energy Distribution 01.09.2016 R'EQUIP

Abstract

A laser-produced plasma (LPP), which is obtained by irradiating a specific target material with a high power laser, generates spectrally tailored emission. Laser-produced plasmas are a well established method for generating radiation in a broad range of wavelengths. The interaction of a high power laser with a specific target material has been used to generate photon emission in a variety of spectral regions including hard X-Rays, soft X-Rays, ultraviolet radiation including vacuum ultraviolet and extreme ultraviolet and visible radiation. The main field of application of the present work is related to the use of LPP sources for X-ray lithography, and more precisely for extreme ultraviolet (EUV) lithography. At the Laboratory for Energy Conversion (LEC), ETH Zürich, a fully functional high power, tin droplet-based LPP light source has been developed over the last 7 years. The major challenges, which are found in the development of a soft X-ray LPP source, include the source emission stability, the source power and brightness, as well as the mitigation of plasma debris. These challenges are representative for the other fields of application of soft X-ray light sources. For the source plasma, the LEC ALPS group has already performed 3D mapping of EUV emissions and 2D ion mapping. The next step will be ultrafast imaging of the droplet breakup for different time intervals. The PhD student shall perform an experimental study with the actual liquid droplet target in conjunction with the already accomplished plasma diagnostics, providing a complete measured characterization of the plasma dynamics for a droplet-based LPP source. The proposed study would provide insight into the process of droplet spallation.The PhD student shall perform an experimental study of pre-pulse shaping. Sending a laser pre-pulse before the main laser drive pulse to the droplet target can increase the conversion efficiency (CE) of the source and mitigate debris by controlling droplet breakup and target expansion. There is high interest in being able to temporally compress the pre-pulse. A temporally compressed pre-pulse increases the source conversion efficiency at lower pre-pulse powers. Additionally, the potential for target shaping with picosecond pulse trains will be explored utilizing an electro-optic deflector or a specialized pulsed picosecond laser. Beyond providing further insight into droplet spallation, these experiments in picosecond pulse trains will shed light on the effect of periodic shockwaves on the breakup of liquid droplets.In the final phase the PhD student shall perform an experimental study of laser pre-pulse compression utilizing Stimulated Brillouin Scattering (SBS). SBS has been demonstrated as a viable method of temporally compressing 1064nm Nd:YAG high energy laser pulses and is the chosen approach for this work. Fluorocarbons have shown the greatest potential for compression of an Nd:YAG laser. A parametric study will be performed on the effect of pre-pulse compression on the LPP source plasma dynamics.The knowledge acquired of the plasma dynamics during the project will have a significant overall impact on the field of laser-produced plasmas.
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